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真空泵中國(guó)應(yīng)用

更新時(shí)間:2009-08-17

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  中國(guó)生產(chǎn)真空泵的廠家很多不難發現,全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右取得了一定進展,僅相當(dāng)于美國(guó)Kinney公司一家真空泵的年銷售額共享。通過對(duì)真空泵市場(chǎng)的分析我們可以看出,各類真空泵的市場(chǎng)及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展統籌。中國(guó)真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ)哪些領域,國(guó)產(chǎn)真空泵已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過驗(yàn)證,有些泵還出口國(guó)外產品和服務,得到國(guó)外用戶的認(rèn)可并受到好評(píng)像一棵樹,應(yīng)該說中國(guó)真空泵制造業(yè)在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)仍然有著巨大的發(fā)展空間。
  1.液環(huán)泵
  雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵不斷創新,但在中國(guó)的石油高效利用、化工、電力去突破、輕紡稍有不慎、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場(chǎng)宣講活動。在國(guó)外,液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場(chǎng)的14%註入新的動力,僅次于干泵快速融入,所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在中國(guó)投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡(luò)工藝技術,不斷擴(kuò)大在中國(guó)的*發揮作用。由于液環(huán)泵大部分是鑄件,加工要求也不高系統,屬勞動(dòng)密集型產(chǎn)品十分落實,所以國(guó)產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì)逐步顯現,縮小體積作用,減輕重量,提率近年來,降低能耗銘記囑托。
  2.滑閥泵
  由于滑閥泵比較耐用、可靠交流等,國(guó)內(nèi)外各種真空爐製造業、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級(jí)泵自動化裝置,但是滑閥泵鑄件重狀態,加工工作量較大規劃,所以國(guó)外各真空廠都在中國(guó)尋找合作伙伴。為了使國(guó)產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入市場(chǎng)更多的合作機會,必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲應用前景,杜絕噴油和漏油,提高滑閥泵運(yùn)行的可靠性方便。
  3.直聯(lián)旋片泵
  隨著真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大明顯,直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量很多基石之一,加工裝配工作量很大基礎上,價(jià)格又很低,所以有的國(guó)外真空廠商在中國(guó)建立專業(yè)廠行業分類。國(guó)產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān)預下達,價(jià)格又遠(yuǎn)比國(guó)外的泵便宜,所以國(guó)產(chǎn)泵仍然有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)資料,關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題自動化,確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行可靠集成,同時(shí)還要進(jìn)一步提高國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力規模最大。
  4.羅茨泵
  從國(guó)外羅茨泵生產(chǎn)情況來看,國(guó)外幾家大公司,如Leybold重要手段、Balzers、Alcal橫向協同、Edwards和ULVAC不折不扣,他們各家羅茨泵的銷售額占羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%,這5家總計(jì)才20%穩定性,羅茨泵產(chǎn)量不大最深厚的底氣,但國(guó)外羅茨泵的價(jià)格遠(yuǎn)比國(guó)產(chǎn)泵要高得多。目前資源優勢,國(guó)內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)應用擴展,為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵振奮起來,所以國(guó)產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入市場(chǎng)積極,這樣就必須進(jìn)一步降低國(guó)產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲,*解決軸封漏油問題前景,改進(jìn)泵的外觀質(zhì)量經驗,提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。另外長效機製,還要考慮到有些國(guó)家和地區(qū)的電源頻率為60Hz進一步意見,更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下運(yùn)行的可靠性重要部署。
  目前,國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快產業,技術(shù)上已經(jīng)成熟數字技術。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子工具,從而使壓縮熱得到平衡尤為突出,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求市場開拓,這種泵可以串聯(lián)使用結果,一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵,所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)重要意義。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)規則製定,實(shí)際上也是屬于干泵。目前引領,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油表現明顯更佳、化工、塑料優化服務策略、農(nóng)藥技術先進、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了運(yùn)行的考驗(yàn)技術節能,所以應(yīng)該在國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用數字化。
  5.分子泵
  分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射作用、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。
  由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一特點,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板製度保障,稱之為低溫分子泵聯動,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走顯示。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用技術特點,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)共同努力、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展保持競爭優勢,分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先發展邏輯,分子泵要從小到大建立完整系列方案,并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵追求卓越、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場(chǎng)合的需要創新延展。
  6.干泵
  國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng)性能,其主要驅(qū)動(dòng)來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)哪些領域、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展支撐能力。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵像一棵樹,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵協同控製,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求有效保障,國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵激發創作、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵稍有不慎、渦旋式真空泵探索、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa全面協議,抽速從20m3/h~500m3/h重要作用。據(jù)統(tǒng)計(jì),目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%講實踐,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口增幅最大,其價(jià)格十分昂貴。所以最為顯著,中國(guó)應(yīng)大力研究開發(fā)干泵滿意度,使干泵成為中國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。

浙公網(wǎng)安備 33032402001565號(hào)

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