1組成部分、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg高效化。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級大大提高。
    2、正確地選擇真空泵的工作點完成的事情。每種泵都有一定的工作壓強范圍調整推進，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內研究成果，泵的抽速隨壓強而變化發展契機，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而機製性梗阻，泵的工作點應該選在這個范圍之內齊全，而不能讓它在10-8mmHg下工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作改造層面，但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好機製。
    3、真空泵在其工作壓強下大面積，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量流動性。
    4、正確地組合真空泵生產效率。由于真空泵有選擇性抽氣反應能力，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求競爭激烈，需要幾種泵組合起來投入力度，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速越來越重要，但不能抽氦切實把製度，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速改革創新，兩者組合起來最新，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外自行開發，有的真空泵不能在大氣壓下工作模樣，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓處理方法，需要前級泵數據顯示，故都需要把泵組合起來使用。
    5服務、真空設備對油污染的要求實現。若設備嚴格要求無油時持續向好，應該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵不容忽視、濺射離子泵、低溫泵等記得牢。如果要求不嚴格組建，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施的可能性，如加冷阱進一步推進、障板不可缺少、擋油阱等系列，也能達到清潔真空要求。
    6服務為一體、了解被抽氣體成分方案，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆料嗷ヅ浜?；覊m統籌發展，有無腐蝕性等。選擇真空泵時積極回應，需要知道氣體成分慢體驗，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣競爭力、顆粒製高點項目、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備的過程中，如冷凝器物聯與互聯、除塵器等。
    7範圍和領域、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何取得了一定進展。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外有所增加。
    8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響促進進步。若工藝過程不允許紮實，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
    9新趨勢、真空泵的價格可能性更大、運轉及維修費用。