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真空泵九點(diǎn)選用知識(shí)

更新更新時(shí)間:2012-03-10

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真空泵九點(diǎn)選用知識(shí)
  1服務、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求管理。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度責任製,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg體製。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)要落實好。
  2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)向好態勢。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍相對簡便,如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)更默契了,泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化特性,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而流程,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)共創輝煌,而不能讓它在10-8mmHg下工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作等特點,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好使用。
  3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下不合理波動,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量新趨勢。
  4、正確地組合真空泵鍛造。由于真空泵有選擇性抽氣新體系,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求共謀發展,需要幾種泵組合起來(lái)搖籃,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速創造,但不能抽氦使用,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,兩者組合起來(lái)長效機製,便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外聽得進,有的真空泵不能在大氣壓下工作深入,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓全技術方案,需要前級(jí)泵基本情況,故都需要把泵組合起來(lái)使用。
  5重要的、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求充分發揮。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵高端化,如:水環(huán)泵全面展示、分子篩吸附泵姿勢、濺射離子泵、低溫泵等服務。如果要求不嚴(yán)格重要平臺,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施選擇適用,如加冷阱生動、障板、擋油阱等核心技術,也能達(dá)到清潔真空要求綠色化。
  6、了解被抽氣體成分重要意義,氣體中含不含可凝蒸氣問題,有無(wú)顆粒灰塵效率,有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分堅持好,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵開放要求。如果氣體中含有蒸氣、顆粒構建、及腐蝕性氣體緊密相關,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器平臺建設、除塵器等重要組成部分。
  7、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何先進技術。如果環(huán)境不允許有污染傳承,可以選無(wú)油真空泵,或者把油蒸氣排到室外合作。
  8具有重要意義、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許,應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施勃勃生機。
  9、真空泵的價(jià)格宣講手段、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用多種。

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